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WH-2000A 真空热压键合机(塑料基)
- 型号WH-2000A
- 模式真空热压
WH-2000A真空热压机用于PMMA 、PC 、COC等硬质塑料芯片封合。真空热压机加热面积230*200mm,可封合芯片厚度140mm,额定最高温度:200℃;压力范围:0~3kN(300kg)
1、WH-2000A真空热压机产品简介
WH-2000A真空热压键合机是苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发,用于PMMA、PC、COC等硬质塑料芯片的键合,是国内外第一款硬质塑料微流控芯片加工专用设备。
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2.WH-2000A真空热压机产品特点
(1) 使用恒温控制加热技术,温度控制精确;
(2) 铝合金工作平台,上下面平整,热导速度快,热导均一;
(3) 加热面积大,涵盖常用大小芯片;
(4) 风冷降温,降温速率均一,有利于提高键合效果;
(5) 压力精确可调,针对不同的材料选用不同的压力控制;
(6)采用独特的真空热压系统,在保证芯片不损坏的情况下大幅度提高键合
3.WH-2000A真空热压机技术参数
1、外形尺寸:470×415×876(长×宽×高)mm;
2、重量:80kg;
3、工作面板面积:230×200(长×宽)mm;
4、可键合芯片厚度:0~140mm;
5、额定电压:AC220V/50HZ;
6、压力范围:0~3kN;
7、额定功率:1.4KW;
8、 额定最高温度:200℃;
4.WH-2000A真空热压机特征图解
(1) 气缸;
(2) 精密调压阀;
(3) 显示屏;
(4) 玻璃观察窗;
(5) 电源接口;
(6) 上板调温旋钮;
(7) 上板温度开关;
(8) 风扇开关;
(9) 气缸控制开关;
(10) 下板温度开关;
(11) 下板调温旋钮;
示意图1
(12) 气压数显表;
(13) 真空表;
(14) 密封圈;
(15) 进气口;
(16) 气源进口;
(17) 真空抽气口。
实验室真空热压机压力准确性测试数据表:
设定气压(Mpa) | 1 | 2 | 3 | |||||||||
气缸压力(kgf) | 实测压力(kgf) | 压力差值(kgf) | 压力偏差% | 气缸压力(kgf) | 实测压力(kgf) | 压力差值(kgf) | 压力偏差% | 气缸压力(kgf) | 实测压力(kgf) | 压力差值(kgf) | 压力偏差% | |
0.06 | 47.2 | 48.1 | -0.9 | -1.9% | 49.8 | 50.1 | -0.3 | -0.6% | 51.7 | 51.8 | -0.1 | -0.2% |
0.07 | 57.3 | 58.9 | -1.6 | -2.7% | 59.5 | 59.2 | 0.3 | 0.5% | 58.5 | 58.4 | 0.1 | 0.2% |
0.09 | 72.1 | 74.1 | -2 | -2.7% | 73.4 | 73.1 | 0.3 | 0.4% | 73.2 | 73 | 0.2 | 0.3% |
0.15 | 114.5 | 117.2 | -2.7 | -2.3% | 117.6 | 116.6 | 1 | 0.9% | 117.6 | 116.4 | 1.2 | 1.0% |
0.2 | 151.7 | 153.9 | -2.2 | -1.4% | 154.2 | 152.8 | 1.4 | 0.9% | 154.8 | 152.6 | 2.2 | 1.4% |
0.25 | 187.6 | 191 | -3.4 | -1.8% | 193.2 | 191 | 2.2 | 1.2% | 194.2 | 190.9 | 3.3 | 1.7% |
0.3 | 224.4 | 226.8 | -2.4 | -1.1% | 230 | 227.8 | 2.2 | 1.0% | 232.7 | 228.3 | 4.4 | 1.9% |
0.35 | 263 | 263.9 | -0.9 | -0.3% | 266.5 | 263.9 | 2.6 | 1.0% | 271 | 265.7 | 5.3 | 2.0% |
0.4 | 295.6 | 295.8 | -0.2 | -0.1% | 304.5 | 301.4 | 3.1 | 1.0% | 308 | 302 | 6 | 2.0% |
0.45 | 336.5 | 335 | 1.5 | 0.4% | 343.3 | 339.7 | 3.6 | 1.1% | 345.5 | 339.4 | 6.1 | 1.8% |
0.5 | 376.2 | 375.8 | 0.4 | 0.1% | 381.4 | 378 | 3.4 | 0.9% | 382.4 | 374.6 | 7.8 | 2.1% |
测试结论 | 压力准确性在±3%范围内,测试结果合格。 |
注:以下图案以实物为准,如有变动恕不另行通知。
真空热压机是在真空(或其它气氛)条件下将材料热压成型的成套设备,主要采用电阻或感应加热,由油缸驱动的压头上下加压。在高温下,生坯固体颗粒的相互键联,晶粒长大,空隙(气孔)和晶界逐渐减少,通过物质的传递,其总体积收缩,密度增加,最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体,从而将物料压制成形。高温、加压以及真空或气氛的同时作用显著提高产品的密度、硬度以及其它机械、电子、热学性能。
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