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WH-PXY-01 喷淋式显影机 -
WH-PXY-01 喷淋式显影机
- 型号WH-PXY-01
- 模式台式自动喷淋显影机
WH-PXY-01型显影机是一种小型的实验室用自动喷淋显影机，适配7英寸以内（含7英寸）基材，液量范围10-500ml,最大转速400RPM，最大显影时间900s
产品简介
喷淋式显影机（WH-PXY-01）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品，针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对7英寸以下（含7英寸）规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可完全替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控，最大程度上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。
技术参数
²转速：0～400RPM；
²液量控制：10～500mL；
²适配硅片/芯片：≤7英寸；
²显影时间：0～900s；
²进液速度：0～100%；
²电源输入：AC220V±10V/50HZ；
²功率：100W；
²重量：20 kg；
²外形尺寸：410（W）* 410（D）* 350（H）mm；
²工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %；
特征图解
特征图解1
特征图解2
装箱清单
名称 | 单位 | 数量 |
喷淋式显影机机体 | 台 | 1 |
液体瓶 | 件 | 1 |
废液瓶 | 件 | 1 |
吸附盘3寸（适用4、5、6寸硅片） | 件 | 1 |
吸附盘1寸、2寸、6寸 | 件 | 选配 |
无油真空泵 | 台 | 1 |
Ø6气管 | 米 | 3 |
电源线 | 根 | 1 |
使用手册 | 件 | 1 |
质检报告 | 件 | 1 |
合格证 | 件 | 1 |
保修卡 | 件 | 1 |
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