LIGA技术和准LIGA技术优缺点对比

准LIGA技术是用紫外光光源来代替LIGA技术中的同步辐射X光深层光刻，然后进行后续的微电铸和微复制工艺。它不需要像LIGA技术所需的同步辐射X光光刻和特制的X光掩模板，从而实现微机械器件的大批量生产。

特点	LIGA技术	准LIGA技术
光源	同步辐射X光	普通紫外光（波长为350-450 nm）
掩模板	以金为吸收体的X射线掩模板	标准铬掩模板
光胶	常用聚甲基丙烯酸甲酯	常用SU-8负光胶
深宽比	一般≤100，最高可达500	一般≤10，最高可达30
胶膜厚度	几十微米到1000μm	几微米到几十微米，最高可达680 μm
生产周期	较长	较短
生产成本	较高	较低，约为LIGA技术的1/100
侧壁垂直度	大于89.9°	大于88°
最小尺寸	亚微米	微米
加工温度	常温至50℃左右	常温至50℃左右
加工材料	塑料、金属、陶瓷等	塑料、金属、陶瓷等