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热膨胀微阀的优点

 

        热膨胀驱动型微阀属于主动型集成机械驱动微阀,采用气体或液体加热体积膨胀使膜片弯曲的方式驱动微阀。这种微阀已经被应用于许多微流体器件中,因为它能够提供足够的微阀驱动力和足够的位移,而且,热膨胀驱动型微阀的结构十分简单,加工方便。


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