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微流控芯片微阀

微流控芯片具有微型化、集成化、高效、快速、极的试剂消耗量和成本低等优点,广泛应用于生物医学、疾病诊断治疗、环境检测与保护、军事和太空探索等众多领域。微阀作为微流控芯片的关键执行部件,是芯片通道内流体流动起控制限流作用的器件,其作用是实现流体通道的开闭合以及流体流向的切换。它在微流控系统中的作用,相当于二极管在集成电路中的作用一样,是微流控系统最重要的部件之一。微阀的发展是微流控系统发展水平的一个重要标志,微阀的研究已成为目前微流控系统研究中最为活跃的一个分支。

微阀可归为两大类:主动微阀和被动微阀。

根据驱动原理的不同将主动微阀分为机械微阀、非机械微阀和带有外部驱动系统的微阀三大类。

近年来,微阀的发展十分迅速,基于各种不同设计结构和原理的微阀已相继得到报道,微阀的性能也得到了很大的提高,比如微阀的反向泄漏、死体积、响应时间、生物兼容性及成本等都得到了一定程度的改善,但同时目前微阀的商业化程度仍不高,仍有很多问题需要解决,主要包括以下2点:

常规的微阀器件通常采用玻璃、硅片等材料为基底,利用硅微细加工工艺(比如光刻、刻蚀等)加工而成,对加工设备和原材料要求高,加工成本较高;

微阀结构较为复杂,通常为非平面的多层立体结构,需采用多层硅键合工艺加工而成,工艺繁琐复杂,加工周期较长。更为重要的是这种非平面的微阀结构不易集成于微流控系统中,增加了微流控系统的集成化难度。因此开展新型微阀的研究,简化微阀的结构和制作工艺,降低成本和集成化难度,对微流控芯片的发展具有重要的意义。

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