到货通知:SU-8光刻胶2000系列、3000系列到货啦
SU-8光刻胶常用2000系列、3000系列到货啦,美国原装进口,无需预定!无需等待!
新型的化学增幅型负像 SU-8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶,克服了普通光刻胶采用 UV光刻导致的深宽比不足的问题,十分适合于制备高深宽比微结构。
SU-8光刻胶的优点:
1、SU-8光刻胶在近紫外光(365nm- 400nm)范围内光吸收度很低,且整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;
2、SU-8光刻胶具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性;
3、SU-8在受到紫外辐射后发生交联,是一种化学扩大负性胶,可以形成台阶等结构复杂的图形;
4、SU-8胶不导电,在电镀时可以直接作为绝缘体使用。
由于具有较多优点,SU-8 胶正被逐渐应用于 MEMS、芯片封装和微加工等领域。目前,直接采用 SU8 光刻胶来制备深宽比高的微结构与微零件已经成为微加工领域的一项新技术。在微流控芯片加工中,SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。
运用SU8光刻胶加工模具浇铸PDMS芯片示意图
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