微流控芯片是如何制作出来的？

       微流控芯片通道的加工制作主要有：模塑法、光刻化学腐烛方法、离子或反应离子深刻蚀方法、注塑、印模或激光烧烛、软刻烛技术、热压法等。

       硅及玻璃芯片的制作主要釆用起源于制作半导体及集成电路芯片的光胶、掩模和紫外光进行微结构制造的光刻和刻蚀技术。高分子材料具有价格低廉、易于加 工等特点，己经被广泛的用于一次性使用芯片的制作。由于高分子聚合物的种类很多，各种材料的物理化学性质不同，所以制作技术也不尽相同。目前的加工方法主 要有激光烧蚀法、喷射模塑法、热压法，以及软刻蚀技术等。