高深宽比光敏玻璃

该光敏玻璃采用连熔法生产，具有先进的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体，这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小结构和通孔。再经过二次曝光和热处理，玻璃基体可以发生相变形成玻璃陶瓷，以此增强玻璃的机械性能。这些特性使光敏玻璃大量应用在微流控（Microfluidics）、无线射频（RF）元件和微机电系统（MEMS）等领域。

光明玻璃晶圆的标准供应尺寸包括直径6英寸或8英寸的晶圆以200X200毫米方形基板，产品厚度则在0.5毫米—1毫米之间，另外可以根据客户需求定制不同尺寸的玻璃片。

光敏玻璃具有一系列优异特性，例如

1、 大于10:1的深宽比；

2、 最小35微米直径的通孔（0.5mm厚度的玻璃）；

3、 最小45微米的间距；

4、大于30:1腐蚀速率（处理区和非处理区）；

5、垂直度大于88度；

6、 加工区域粗糙度小于3微米；

7、高度质量均一性：先进的熔制工艺确保光敏性均一且具高度重现性；

8、无需光刻胶即可制作微结构；

9、极佳的透光特征（同时表现在可见区和非可见区）；

10、生物兼容性：耐温，化学稳定；

11、环境友好：符合EU-RoHS 和 EU-REACH规定；

12、光敏玻璃的切割和键合，基本可以沿用传统的加工手段。

光敏玻璃不同尺寸的方孔加工结果

光敏玻璃不同尺寸的圆孔加工结果

采用光敏玻璃加工的复杂结构

光敏玻璃加工结构的表面粗糙度

可提供购买的型号

以上为标准尺寸，可以定做非标尺寸，厚度0.5/0.7/1.0/1.3，外型可定制。