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微流控芯片单层模具加工工艺一、硅片清洗硅片标准清洗，放置200°电热板15min，烘干。二、硅片修饰将硅片放置于挥发缸中，滴入1~2滴修饰试剂HMDS，挥发处理时间≥3min；...2016-04-29 14:44:58