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- 芯片光刻的流程详解（上）是把掩膜版上的Y轴与晶园上的平边成90?，如图所示。接下来的掩膜版都用对准标记与上一层带有图形的掩膜对准。对准标记是一个特殊的图形（见图），分布在每...2018-07-12 08:36:24
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- Nikon光刻机对准机制和标记系统研究较大的差别，有自己的特色。在Nikon系列光刻机的对准方案中，用到三类对准标记:对版标记、硅片粗对标记和硅片精对标记。此外，还有与各类标记相对应的传...2018-01-31 09:33:17
- 光刻基本操作步骤”）HOW MANY WAFERS = _1_待片子上到载片台后，手动对准标记进行曝光，显影，检验，确认无误后，对硅片继续进行曝光曝光时间确定表显影...2017-10-25 09:31:42
- URE-2000/25型光刻机操作说明以及特性介绍m。对于薄胶（胶厚小于 5?m） ，通过监视器可以同时看 到掩模和硅片对准标记，可直接通过计算机监视器，调节对准工件台进行 对准。对于厚胶，首先通过...2017-10-24 11:32:15
- 光刻机的简单介绍大倍率的目镜和物镜供用户组合使用）。CCD对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视器上。工件台顾名思义就是放工件的平台，光刻工艺最主要的...2016-04-18 11:54:16
