- 刻蚀工艺：干法刻蚀和湿法刻蚀片上的部分特殊区域，而未被光刻胶保护的区域，则被选择性的刻蚀掉。 1.干法刻蚀和湿法刻蚀 在半导体制造中有两种基本的刻蚀工艺：干法刻蚀和湿法腐蚀。...2017-08-23 16:26:42
- MEMS湿法刻蚀和干法刻蚀的比较蚀。这个腐蚀步骤之后，通常采用去离子水漂洗和随后的掩膜材料的移除工艺。干法刻蚀的刻蚀剂是等离子体，是利用等离子体和表面薄膜反应，形成挥发性物质，或直...2016-12-13 10:05:25
- 芯片刻蚀技术中的干法刻蚀技术、印刷电路和其他微细图形的加工。对于芯片刻蚀来说，刻蚀被分为湿法刻蚀和干法刻蚀两种。干法刻蚀技术是利用等离子体激活的化学反应或者是利用高能离子束轰击...2016-10-17 09:14:25
- 光刻加工，旋涂均匀性好，粘附性高，成品质量好。刻蚀工艺刻蚀工艺主要有湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀是一种纯化学刻蚀，利用液体化学试剂与待刻蚀材料反应生成可溶性...2025-04-09 08:56:15
- 纯硅模具图纸，或者提供草图及需求由汶颢来绘制设计。汶颢股份纯硅模具的刻蚀主要是干法刻蚀机，首先基地上做好铬层保护，然后同样利用光刻工艺实现图案化做出想要结构...2025-04-09 08:56:15
- 汶颢股份产品服务一览表（2020）工光刻工艺：硅片表面SU-8光刻胶加工能力、玻璃湿法腐蚀加工能力、硅片干法刻蚀加工能力。注塑成型工艺：开模能力数控CNC工艺玻璃加工工艺电极加工工艺...2020-04-16 17:20:54
- 微流控分析芯片工光刻工艺：硅片表面SU-8光刻胶加工能力、玻璃湿法腐蚀加工能力、硅片干法刻蚀加工能力等。注塑成型工艺：开模能力、数控CNC工艺、玻璃加工工艺、电极...2018-11-16 15:58:38
- 汶颢股份产品目录(2018年).3.1.2 玻璃湿法腐蚀加工能力 1.3.1.3 硅片干法刻蚀加工能力 1.3.2 注塑成型工艺 1.3.2.1 ...2018-01-03 10:39:46
- 微流控中的烘胶技术光刻胶经过显影后，进行烘胶（坚膜）能使光刻胶结构更稳定。例如在后续进行干法刻蚀、湿法刻蚀或者LIGA等工艺时，烘胶可以让光刻胶在这些物理或化学过程中...2025-01-07 10:20:54
- 基于玻璃基底的细胞培养芯片研究（上）玻璃基底上溅射一层金属或多晶硅等薄膜材料作为刻蚀掩模层,然后进行湿法或干法刻蚀,最后在超净环境中利用高电压或高温进行键合同整个加工工艺复杂，价格昂贵...2024-12-05 10:22:20
