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• 基于电化学刻蚀与微电铸工艺具在微电铸工艺中铸层与基底结合力差的问题，在光刻工艺的基础上，采用掩膜电化学刻蚀和微电铸相结合的方法，制作出了结合力较好的镍基双十字微流控芯片模具。针...2017-10-10 08:38:48
• 微反应器的发展现状，制造微通道可应用的微加工技术包括：精密机械加工、湿法刻蚀、干法刻蚀、电化学刻蚀、表面硅工艺技术、LIGA(光刻、电铸成模和塑注成型)技术、电火花加工...2018-08-20 09:35:25
• 微电极的特点、分类、制备方法的设计制备是微电极电化学发展应用的关键，目前涌现出的制备微电极的技术有电化学刻蚀法、电沉积法、自组装技术、化学镀层技术等，这些制备方法为快速制备微电极...2018-06-21 11:36:26