SU-8显影液使用注意事项

图1 SU-8 Developer（左图旧包装，右图新包装）

化学品商品名：SU-8 Developer

生产厂家：Kayaku Advanced Materrials, Inc.(formerly MicroChem)

主要成分：

1-Methoxy-2-propyl acetate (CAS: 108-65-6), > 99.5%丙二醇甲醚醋酸酯 （醋 cu）

2-methoxy-1-propyl acetate < 0.5% 2-甲基丙醇乙酸酯 < 0.5%

显影原理：

SU-8胶的显影原理是在显影液中溶解掉未曝光部分的光刻胶。当基片放人显影液中，未曝光部分的光刻胶会被显影液溶解。而曝光过的光刻胶已交联形成网状聚合物，因此显影液对它基本没有溶解作用，形成与掩模版相反的微结构图形。

实验室用户使用建议：

显影操作请在通风橱内进行。假如用户给4英寸的硅片显影，可以在6英寸的玻璃培养皿中倒入适量显影液，显影液浸没硅片即可，可以用拔掉针头的针筒吸取培养皿中的显影液并慢慢推注射器使培养皿中的显影液流动，加块显影。观察硅片表面，可以看到硅片底面反光说明显影结束。取出显影后的硅片，在黄光下观察，若是有彩色的反光，可以用新的针筒（去掉针头）抽取新的显影液，轻轻喷在硅片表面进行冲洗。然后用去离子水冲洗干净，氮气吹干。

若用户有显影机，可以按照显影机说明书进行操作。

显影机（WH-XY-01）

显影机技术参数：

? 震荡方向：顺时针/逆时针

? 转速：10～300RPM

? 液量控制：50～500mL

? 适配硅片/芯片：≤7 寸

? 显影时间：0～999s

? 进液速度：0～100%

? 电源输入：AC220V±10V/50HZ

? 功率：150W

? 重量：14 kg

? 外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

? 工作环境：温度 0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %