多温区烘胶台（WH-HP-03）

1. 产品简介

WH-HP-03多温区烘胶台是汶颢股份自主开发，具有独立知识产权，可以用于光刻工艺中的前烘、中烘和后烘，并具有分段式程控升温。该设备采用PID控温系统自动测温控温，升温速度快、温度均匀、控温精度高等特点，可长时间持续稳定工作。此仪器最大特点是具有3个温控区域，可分别设定与调整不同的温度，可同时/单独工作，克服了一个温控区域必须来回切换升温/降温的缺点。

2. 技术参数

² 烘胶温度：室温～300℃

² 持续烘胶时间：～15min以内为宜

² 控温精度：±1℃

² 温度均匀性：＜±5%

² 烘胶板规格：φ130mm

² 参数设定：触摸屏设置参数

² 控温形式：PID控温系统

² 电源输入：AC220V±10V/50HZ

² 功率：1.5 KW

² 重量：21kg

² 外形尺寸：480（W）*580（D）*200（H）mm

3. 特征图解

特征图解1

特征图解2

4. 操作说明

（1）开机：接通电源，打开背面电源开关，触摸屏点亮，进入温度显示界面，多温区烘胶台进入待机状态。

（2）设定温度：点击触摸屏的“参数设定”进入参数设置界面，分别设置第一阶段和第二阶段前烘胶台、左烘胶台、右烘胶台的温度和保持时间。

（3）启动运行：点击参数设定界面的“确定”键，切换到主页面，点击触摸屏的“启动”键，仪器切换到“启动”键进入加热状态。

（4）停止加热：点击触摸屏的“停止”键，仪器切换到“停止”键，风扇开始运作，多温区烘胶台停止加热，进入降温状态。

（5）冷却关机：烘胶结束后，烘胶板还在高温状态，此时应继续保持通电一段时间，以便多温区烘胶台降温冷却，避免因关机时温度过高造成仪器内部损坏和使用人员烫伤，当温度降至50℃以下时关闭电源开关，并拔掉电源插头。

5. 安全注意事项

拆开包装后，请按照装箱清单详细检查配件，如有缺失，请联系销售代表。注意必须将所有包装和泡沫垫卸下，否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾。

操作前请详细阅读本说明全部内容，并严格按照要求依次进行操作。若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、仪器损害、财产损失，厂家将不予承担任何责任。

警告：

安置本仪器的桌（台）面应坚实平整，四只橡胶脚垫应与桌（台）面平稳接触，否则会产生仪器不平稳，影响硅片烘胶效果。

仪器工作时，操作人员不得倚靠在仪器上，非工作人员不得在非安全空间内逗留，以免高温烫伤。

放置硅片和拿取硅片时，请利用镊子等工具，以免烫伤。

仪器出现故障应及时切断电源，并与销售代表联系，切勿自行打开机壳。

严禁非专业人员维修，维修时必须先拔下电源插头，防止事故发生。