WH-XY-01 显影机

1. 产品简介

显影机（WH-XY-01）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品， 针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对 7 英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可完全替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控，最大程度上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。

      涂胶显影机目前规格及型号：WH-XY-02显影机（5寸）,WH-XY-01显影机（7寸）

显影机主要特点如下：

1）显影池摇晃震荡频率可设定,保证显影液与硅片等接触充分，提高显影效果与质量；

2）可根据显影的载体进行精确设定显影托盘升降位置，从而确定显影液的进入添加量，避免显影液的浪费；

3）显影液可以自动添加与排放，灵活更换；

4）友好的人机界面设计，保证操作人员的使用体验与安全；

5）便携性好，方便在实验室移动；

6）腔体为SUS304材料的耐腐蚀腔体。

2.技术参数

震荡方向：顺时针/逆时针

转速：110～250RPM

液量控制：50～500mL

适配硅片/芯片：3寸,4寸,5寸（WH-XY-02），3寸,4寸,5寸,6寸,7寸（WH-XY-01）

显影时间：0～999s

进液速度：0～100%

电源输入：AC220V±10V/50HZ

功率：150W

重量：14 kg

外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %

3. 特征图解

4. 显影机使用视频指导

备注：如需了解产品价格及其他技术内容可咨询我司客服。