- 如何成功进行微流控SU-8光刻胶的紫外曝光？为了成功紫外曝光并且根据所需要的分辨率，光掩模必须尽可能的靠近SU-8光刻胶放置，不要有任何干扰。如要这样做，可检查如下几件事。首先，光掩模和晶圆之间的灰尘...2024-08-23 08:57:36
- 微流控SU-8光刻胶的紫外曝光可使SU-8光刻胶可溶于或不溶于溶剂。良好SU-8 UV曝光的相关参数紫外曝光过程中光掩模和SU-8之间的接触为了成功紫外曝光并且根据所需要的分辨率...2017-12-21 08:58:06
- SU-8光刻胶模具软烤（光刻胶的第一次烘烤） ；4、 边缘光刻胶的去除（可选） ；5、 紫外曝光 ；6、 曝光后烘烤（光刻胶的第二次烘烤）；7、 显影 ；8、 硬烘烤...2024-11-22 13:45:40
- 高深宽比光敏玻璃生产，具有先进的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体，这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小...2020-08-21 09:54:51
- 低成本微流控芯片的加工与键合方法（下）的粘性材料通常是具有紫外固化性质的材料(如SU—8、干膜等)，需要经过紫外曝光实现基底和盖片材料的键合。此外，非紫外固化材料如蜡也可以用来进行简易的...2024-07-23 09:39:21
- 微流控芯片制造工艺（下）来完成纳米级的集成电路制造，比如电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光、极紫外曝光等。此部分内容在下一篇中介绍。 免责声明：文章来源网络 以传播知识、...2024-06-25 08:47:32
- 微流控光刻技术的微粒子研究现状及应用进展(a) 通过调控紫外光强度分布和曝光时间调节微粒子形态。 (b) 通过紫外曝光时间和掩膜形状控制来调节微粒子形态。(c) 通过紫外光焦平面位置和掩模...2023-11-02 11:23:23
- 如何加工一个微流控芯片的环氧树脂SU-8模具：SU-8模具制作的提示和技巧（光刻胶的第一次烘烤） 4、 边缘光刻胶的去除（可选） 5、 紫外曝光 6、 曝光后烘烤（光刻胶的第二次烘烤） 7、 显影 8、...2023-07-28 08:53:56
- 低成本微流控芯片键合技术的粘性材料通常是具有紫外固化性质的材料（如SU-8、干膜等），需要经过紫外曝光实现基底和盖片材料的键合。此外，非紫外固化材料如蜡也可以用来进行简易的...2022-09-01 08:51:17
- 微流控芯片模板是如何加工的结束后，电热板调至 65 ℃备用。 （9）硅片曝光：将冷却后的芯片置于紫外曝光机的吸盘上，组装固定。紫外曝光的具体时间要依据芯片的具体要求进行调整，...2022-07-22 14:28:36
