微纳加工 - 纯硅模具加工工艺 & 硅片模具

纯硅模具

以单晶硅为材质，利用高能束轰击衬底得到需要的高深宽比结构，该方法可以弥补光刻胶在高深宽方面的不足之处。

1.微纳加工——纯硅模具工艺流程

（a）硅片的清洗、烘干

（b）热生长氧化层

（c）涂光刻胶

（d）光刻

（e）显影

（f）去除氧化层

（g）ICP深刻蚀

（h）去除光刻胶

2.纯硅模具加工说明

2.1一般采用正性光刻胶

正胶的优点：易去胶。

2.2刻蚀的流道截面不是标准的矩形

2.3刻蚀面较粗糙，刻蚀深度越深粗糙度越大

3.硅片模具

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