匀胶机使用注意事项及维护清洗

匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用。

匀胶机简介

匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

匀胶机使用注意事项 ：

（1）所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸 2-3mm 左右，如果用大吸附盘甩小 的样片就会产生漏气，同时造成胶被吸入抽气室，导致气路堵塞。

（2）如果不慎胶被吸入了抽气室，要立刻进行清洗，否则吸附盘、光电盘、电 机轴会黏在一起，造成电机转不动，拆卸亦很困难。 

（3）气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片，故在启动电机前须确认气 泵的状况良好及吸片确已吸住。 

（4）本机一旦出现故障或异常情况请立即切断电源，参考上述常见故障排除， 若自己不能解决，请及时拨打汶颢股份公司电话。

匀胶机的维护清洗：

属下列情况之一时，需要对抽气室进行清洗

1.正常使用半个月的；

2.胶被吸入抽气室的； 

3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。

汶颢股份是匀胶机生产厂家，欢迎来电咨询匀胶机价格。