微电极在不同条件下的制备技术（-200℃到150℃）

随着微全分析系统的迅速发展，关于其检测方法的研究也越来越多。电化学作用一大类常用的分析检测方法，易于微型化、集成化，具有独特的优势。在芯片毛细管电泳安培检测器中使用最多的金属电极为铂电极和金电极，也有铜电极。铂、金是目前应用较多的一种电极材料，它们具有稳定的化学特性、易于提纯、加工特性好，可以被加工为各种几何形状、尺度的检测电极；背景电流低，适于微弱信号的高精度测量。同时，对贵金属电极进行表面生物化学修饰的手段成熟且易于实现，能够满足目前对生物化学检测日新月异的要求。但相对于碳电极，贵金属电极存在价格昂贵的缺点。

微电极制备工艺如下图： 以ITO金属电极的湿法刻蚀工艺为例：过程结构如下图所示

裁好、清洗感觉的ITO导电玻璃→涂胶、前烘→覆盖掩膜版→紫外固化器中曝光→显影、竖膜→蚀刻→去膜、清洗

汶颢股份提供多种材质超微电极制备技术整体解决方案，包括微电级制备用到的相关设备与耗材产品。