微阀结构及工作原理

       微阀结构及工作原理主要由2层PDMS片组成：上层PDMS片和下层PDMS片。上层PDMS片不包含微结构，主要用作盖片，与下层PDMS片封合后，形成具有密闭通道的微阀器件。下层PDMS片为微阀的功能层，集成了阀片、阀塞、微通道等微结构。其中阀片一端垂直固定于流体通道(400 m宽、200 m高)的内壁；而阀塞位于阀片的左侧，两端则都被固定于微通道的侧壁上，中间则由一正对于阀片中央的阀塞通道(宽度80 p．m、长度500 Ixm)隔开。微阀阀片与阀塞之间留有微小的间隙通道，主要用于调节流量。在受到不同方向的流体压力作用时，阀片发生变形，通道内的流阻产生变化，改变了流量，而实现对流量的调节。具体工作过程如下：当微阀受到正向流体压力作用时(从左至右)，阀片偏离阀塞，阀片与阀塞之间的间隙距离增大，流阻变小，流量增大，微阀正向导通；而当阀片受到反向流体压力作用时(从右至左)，阀片偏向阀塞，并逐渐与阀塞接触，阀片与阀塞之间的间隙距离显著减小，流阻不断增大，相比于正向流量，反向流量显著降低，微阀反向截止。因此通过柔性阀片的相对运动，微阀实现了流量调节功能。