微流控微孔加工技术

微孔加工，是传统加工里很难的技术，属于微细加工的一部分。这些微型小孔只有在高倍显微镜下才能看的到。

目前微孔加工的方式有三种，分别是电火花，机械，激光。

首先是电火花加工，最小可以加工0.08mm直径的微孔，但是其微孔孔壁会留下再铸层，从而影响微孔的适用寿命，使得微孔的孔壁表面质量发生恶化。

其次是机械钻孔，其钻头非常容易断裂，而且在微孔的出口处会留下毛刺，这种毛刺会影响适用效果。

最后是激光加工，激光可以直径非常小的孔，最小可至0.001mm，但一般激光加工会是一个喇叭口状的微孔。

零件的材质对加工方案的选择影响重大，有些特殊材料，如蓝宝石，由于其高硬度，激光加工是其唯一的选择。

而陶瓷材料，硬度高，并且具有一定的脆性，普通机械或者激光可以加工，但对于一些厚度很薄，且对精度要求偏高的陶瓷，上述方式便有些困难。

对于金属材料的微孔加工，很多时候机械便可以做到，但如果孔径更小，如达到80um以下，就只能采用激光加工方式。金属的深孔加工是未来的一个趋势。硅片微孔工艺也越来越受到重视。但硅片硬脆的特性为加工带来了难度。

玻璃在工业中应用十分广泛，镀膜玻璃，钢化玻璃，石英玻璃等都是经常需要加工的材料。大多数人会认为钢化玻璃不可再加工，其实不然，钢化程度在一定程度之下是可以加工的。而石英玻璃的硬度要比一般玻璃高很多，也属于较难加工的类别。

玻璃微孔加工只是一个统称，根据材料及要求不同，应用的方面千差万别。比如载玻片微孔， ITO玻璃微孔，石英玻璃微孔，高硼硅玻璃微孔等等。玻璃微孔是一种粒状多孔玻璃，刚性好，机械强度高，主要用于生产高硅氧玻璃，应用于生物工程，遗传工程、生物和药品的精制及固化酶。

载玻片多用于实验室生物研究，通常这类微孔对孔径精度要求较高，根据客户要求定制。ITO玻璃微孔跟载玻片类似，多用于研究。

高硼硅玻璃打孔很多时候都是密集打孔，即在一片玻璃上打几十甚至上百个微孔，此类打孔最容易出现崩边问题。

玻璃微孔加工用途：

玻璃微孔由于它特有的组成、结构和所具有的特性，现已发展成为具有许多用途的新功能材料。

在化学工业上，可作为高温用气体分离膜、汽体分离膜、反应分离膜、电解隔膜、超滤和反渗透等用的膜来进行混合气体的分离或混合液体的分离。还可以作为催化剂的载体、各种吸附剂及气液浓缩的材料。

在医学上，可作为血液净化等医疗用分离膜。

在生物学上，可作为固定化酶的载体，使酶保持稳定的催化活性，使生物化工的工艺过程实现连续化与自动化。

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