苏州汶颢具备哪些微流控芯片加工工艺

微流控芯片最初只是作为纳米技术革命的一个补充，在经历了大肆宣传及冷落的不同时期后，最终却实现了商业化生产。随着材料科学。微纳米加工技术和微电子所取得的突破性进展，微流控芯片也得到了迅速发展。

苏州汶颢芯片科技有限公司（简称”苏州汶颢”）具备雄厚的微流控芯片加工能力，保持国内芯片加工的领先。配置了先进的软刻蚀有机芯片加工系统、光刻-掩膜无机芯片加工系统、数控CNC微加工系统，可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC等所有材质微流控芯片。

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苏州汶颢具备哪些微流控芯片加工能力：

1、光刻工艺

    能够在硅片上进行光刻操作，光刻7英寸向下兼容，加工极限2μm，有三层以上光刻加工能力；

2、注塑成型工艺

可利用硅片模具、玻璃模具、金属模具或塑料模具进行PDMS芯片的注塑成型加工。

3、数控CNC工艺（PMMA、PC、ABS等其他聚合物芯片）

利用数控CNC加工中心、可以加工线宽在100μm以上，深度在10μm以上的聚合物芯片，芯片整体尺寸在40*40cm以内。

4、玻璃加工工艺

激光或者CNC加工玻璃材质芯片，管道加工误差可以在10μm以内，切割误差可以在20μm以内。湿法刻蚀宽深比>2:1，通道内壁光滑。

5、磁控溅射工艺

可以在硅片或者玻璃上溅射金属，加工能力6英寸向下兼容，金属厚度可控；可以进行多层的金属溅射；可以对硅片或者玻璃上溅射金属进行图案化，极限线宽5μm。

6、其他加工工艺

金属芯片——主要是铝和镍的芯片；相关进样系统和垫圈的定制；硅刻蚀&深硅刻蚀—化学方法刻蚀和ICP刻蚀。

     苏州汶颢，在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的领先地位，申请国家专利89项，其中授权20余项，已经获批注册商标2件，软件著作权7件，江苏省高新技术产品3项，建立企业标准5项。