汶颢微流控芯片加工能力
汶颢科技具有雄厚的微流控芯片加工能力,保持国内芯片加工领域先进地位,配置了先进的软刻蚀有机芯片加工系统、光刻-掩膜无机芯片加工系统、数控CNC微加工系统,可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC、金属等材质的微流控芯片。
芯片设计:以客户目标为导向,设计微通道与微结构,并选择匹配的材质和工艺,实现芯片功能。
芯片材质:可以加工所有材质的微流控芯片,包括PMMA、PDMS、玻璃、石英、硅片、金属等。
技术手段:光刻、湿法刻蚀、注塑、数控加工、热压、激光刻蚀等。
加工能力:
PDMS:加工线宽在2微米以上,深宽比最大可到5:1;
玻璃/石英/硅片:湿法刻蚀,线宽在5微米以上;
PMMA等聚合物:加工线宽在200微米以上,深度100微米以上;
金属:加工线宽在200微米以上,深度100微米以上。
标签:   微流控芯片加工
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