紫外光刻机的工作条件

       紫外线光刻机是 印制板制造工艺中的重要设备。传统光刻机的玻璃-迈拉晒架在生产过程中需要人工赶气,迈拉膜需要经常更换。由于冷却系统过于臃肿,使得其生产成本高、效率 低,已不能满足PC B 生产的需要。在实验基础上设计了双玻璃晒架光刻机，改进了其主要组成部分,包括晒架系统、光路系统、冷却系统以及电气和控制系统的整体设计。

       在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

       附：汶颢光刻机——http://www.whchip.com/product/product.php?search=search&lang=cn&class1=149&searchtype=0&content=%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA