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'关键字: 光刻工艺'
- 毛红菊利用磁珠和微柱阵列芯片进行低成本定量检测核酸列芯片。芯片的制作流程,见图2,首先,将光刻胶自旋涂覆在硅片上,并采用光刻工艺进行图形化,。在此基础上,采用深反应离子蚀刻技术进一步形成晶圆内的微孔...2019-10-22 13:22:51
- 上海交通大学刘景全教授课题组在可植入体液压力传感器上取得新进展也会相应发生变化。在该传感器的工艺研究中,一种简易的低价的小角度牺牲层光刻工艺被提出,可加工出与传统光刻角80度不同的26.4度的光刻角,以保证敏感...2019-09-16 13:58:46
- 可拉伸的无线传感器可以监测脑动脉瘤的愈合一个步骤中完成生产非常小的电子功能器件,而无需在洁净室中使用传统多步骤光刻工艺。该器件被认为是利用气溶胶喷射3D打印的首个用于制造可植入且可延展无线...2019-09-02 08:56:46
- 汶颢股份参展南京2019年ESEE会议专注微流控配套芯片与仪器的开发,在展会呈现了一系列的新款产品。例如,为光刻工艺制作微流控芯片设计的显影机,解放操作人员的双手,让光刻显影变得简单易行...2019-04-16 11:51:33
- 汶颢股份参展南京2019年ESEE会议专注微流控配套芯片与仪器的开发,在展会呈现了一系列的新款产品。例如,为光刻工艺制作微流控芯片设计的显影机,解放操作人员的双手,让光刻显影变得简单易行...2019-04-16 11:49:15
- 如何为SU-8模具选择合适的光刻热板的最佳加热工具。3.如何选购SU-8烘烤的光刻热板及注意事项在SU-8光刻工艺中,热板的目的是加热光刻胶。光刻热板表面的实时温度显示重要的一点是检查...2019-03-22 10:48:29
- 微芯片电泳研究进展及其在离子检测中的应用烯基薄膜制作出掩模板,进而采用湿法腐蚀制造了微通道,该方法避免了繁琐的光刻工艺,提高了加工效率。与此同时,如何快速、便捷地加工出检测电极上的绝缘层也...2018-11-20 09:58:26
- 基于微流控液滴形成技术的聚乙烯醇微球制备bricatedmicrofluidicchip的通道宽度相同。采用软光刻工艺制备SU-8阳模。将适量PDMS前聚体与固化剂按10∶1的比例搅拌混合...2018-10-24 09:35:54
- 基于微流控的即时检验诊断(POCT)的材料、工艺、优缺点大总结璃/硅MICROFLUIDICS器件相比具有优势,因为它们不需要复杂的光刻工艺,因此成本低廉。已经发现它们具有优异的电/化学电阻率和光学透明度,使其...2018-09-20 08:54:25
- 一种高感度深紫外正性化学增幅型抗蚀剂的制备膜层的玻璃化转变温度,从而降低后烘过程中酸迁移的影响,并更好地适应后续光刻工艺的要求。文献来源高等学校化学学报 Doi:10.7503/cjcu20...2018-08-15 11:10:22