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- 光刻机的主要性能指标有哪些
光刻机的主要性能指标有：
支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。
分辨率...2015-01-30 16:37:55
- 数字微流控芯片的基本组成疏水层，其接触角能够达到106°~112°。表4列出了不同疏水材料相关性能指标。 表4不同疏水材料相关性能指标 免责声明：文章来源网络 以传播知识...2023-07-07 09:33:36
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- 光刻胶性能要求，减少对压印图形的损坏。3 硬度及粘度硬度和粘度是光刻胶的两个重要性能指标，其中硬度对光刻胶的可塑性有影响，在压印前，要求光刻胶的硬度越小越好，...2022-02-26 23:21:06
- 固定化酶微反应器的应用活性较好，酶学参数与浓度有较好的线性关系。酶的活性是微反应器的一个重要性能指标。对酶活性评价方法进行了相关研究，为活性表征提供了简便而有效的方法。用...2021-08-05 16:54:53
- 微流控芯片技术应对临床检验医学的挑战市场拓展潜力在于：1.针对传统产品无法适用的应用环境开发产品；2.发展性能指标和操作便利性具有明显优势的颠覆性新产品。一个成功的微流控体外诊断产品，...2018-06-04 10:41:17
- 微流控芯片及技术介绍材料己经成为微流控芯片加工的主要材料，它的种类多、价格便宜、绝缘性好、性能指标优，可施加高电场实现快速分离，加工成型方便，易于实现批量化生产。硅具有...2017-10-09 17:39:32
- 光刻机的简单介绍和锁紧手轮组成。承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。性能指标光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式...2016-04-18 11:54:16
