URE-2000B型光刻机

产品名称：

中国光电URE-2000B型光刻机

URE-2000B型紫外光刻机主要技术特点：　

　  该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。 

技术参数：

1．技术参数

◆曝光面积：110mm×110mm

◆分辨力：0.8μm（胶厚2μm的正胶）

◆对准精度：±1μm

◆最大焦厚：600mm（SU8胶，用户提供检测条件）

◆曝光波长：365nm

◆光源平行度：2?

◆掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

◆样片尺寸：直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片)

               厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

◆照明均匀性：±3%（f100mm范围）

◆掩模相对于样片运动行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

◆曝光能量密度：>18mW/cm

◆汞灯功率：1000W（直流）

◆曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）

◆外形尺寸：1400mm（长）?1200mm(宽)?1850mm（高）

配置：

（1）曝光头

◆ 冷光椭球镜

◆ 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

◆XYZ汞灯调节台

◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

◆冷却风扇

（2）对准工件台

◆掩模样片整体运动台

◆掩模样片相对运动台

◆转动台

◆样片调平机构,自动完成

◆样片自动调焦机构

◆承片台4个（?15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）

  掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

◆掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜及CCD对准系统

◆光源、电源

◆双目双视场对准显微镜主体

◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

◆CCD

◆21英寸液晶显示器

（4）电控系统

◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

◆单片机控制系统

◆控制柜桌

（5）气动系统

◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

◆电磁阀驱动

◆气动仪表

（6）其他附件

◆真空泵一台（无油泵）

◆空压机一台（静音泵）

◆管道

（7）技术资料

◆使用维修说明书

◆显微镜使用说明书