URE-2000S/A型光刻机

产品名称：

中国光电URE-2000S/A型光刻机

技术参数：

1、曝光面积：150 mm×150mm

2、分辨力：1μm（胶厚2μm的正胶）

3、对准精度：±3μm（双面,片厚0.8μm），±0.8μm（单面）

4、掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸，7英寸

5、样片尺寸：直径f30mm--f150mm

                   厚度0.1mm--8mm

6、照明均匀性：±3.5%（f100mm范围） ±5.5%（f150mm范围）

7、掩模相对于样片运动行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

8、汞灯功率：1000W（直流）

9、最大胶厚：400mm（SU8胶，用户提供匀胶显影条件）

10、曝光方式：定时（倒计时方式）

外形尺寸：

1400mm（长）?1200mm(宽)?1850mm（高）

配置：

（1）曝光头

1、 冷光椭球镜

2、1000 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

3、XYZ汞灯调节台

4、光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

5、冷却风扇

（2）对准工件台

1、掩模样片相对运动台

2、转动台

3、样片调平机构,自动完成

4、样片调焦机构

5、承片台4个 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸）

6、掩模夹4个 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸）

7、掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜（可以选择带CCD型，目镜和监视器可同时观测）

1、灯源（配备品2只）、   电源

2、双目双视场对准显微镜主体

3、目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

4、物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

5、CCD光学系统（选配件）

6、XYZ底面对准工件台

（4）底面CCD对准系统

1、光源（配备品2只）、   电源

2、成像光学系统(2套,20倍放大)

3、数据采集卡

4、CCD

（5）电控系统

1、汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

2、单片机控制系统

3、控制柜桌

4、计算机系统（19英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

1、气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2、电磁阀驱动

3、气动仪表

（7）其他附件（选配）

1、真空泵一台

2、空压机一台

3、恒温循环水冷却系统

4、管道

（8）技术资料

1、使用维修说明书