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URE-2000/30型光刻机 -
URE-2000/30型光刻机
- 型号URE-2000/30
- 模式
1．技术特征l 高倍率双目双视场显微镜和22英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储l 采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好l 对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换l 采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尚l 上下片、版十分方便，自动化程度高，操作
1．技术特征
l 高倍率双目双视场显微镜和22英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储
l 采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好
l 对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换
l 采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尚
l 上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工厂(效率高)尤为适宜
2．技术参数
l 曝光面积：100mm×100mm（可升级为6英寸）
l 曝光波长：365nm
l 分辨力：≤1mm（胶厚1.5 mm的正胶）
l 对准精度：±0.6mm
l 显微镜扫描台运动范围：X：10mm;Y:10mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 样片尺寸：直径f15mm-- f100mm（各种不规则片）
厚度0.1mm--6mm
l 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
l 照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）
l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对：4倍、10倍、20倍
目镜三对：10倍、16倍、20倍
l 调平接触压力通过传感器保证重复
l 数字设定对准间隙和间隙
l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6?
l 最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）
l 光源平行性：3 ?
l 曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面温度<35 ?C
l 单层曝光一键完成
l 采用球气浮+三爪找平
l 汞灯功率：350W（直流，进口）
3．外形尺寸：1400mm（长）?900mm(宽) ?1500mm（高）
4．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
l XYZ汞灯调节台
l 冷却风扇
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2
（2）对准工件台
l 光刻机底座
l 工位切换台（气缸）
l 掩模样片整体运动台
l 掩模样片相对运动台
l 转动台
l 样片调平机构,三点自动完成
l 样片调焦机构，电机自动调
l 基片抽拉式上下机构
l 承片台4个：f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm（可按用户要求增减）
l 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（可按用户要求增减）
l 样片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
l 光源、 电源
l 双目双视场对准显微镜主体
l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
l CCD对准系统，22寸液晶显示器
（4）电控系统
l 汞灯触发电源(350W直流汞灯)
l 单片机控制系统
l 控制面板
l 控制柜桌
（5）气动系统
l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
l 电磁阀驱动
l 气动仪表
（6）其他附件
l 真空泵一台
l 空压机一台
l 配套接口管道
（7）技术资料
l 使用维修说明书
l 产品检验合格证
